真空系統實際上便是真空發電機組的一個相近的叫法，真空發電機組是由幾類真空泵組成的一套閉環控制真空機器設備，它不有一些例如熱管散熱器，冷卻器這些機器設備存有。而一般能稱之為真空系統的肯定是各種各樣零部件齊備。真空運用機器設備品種多種多樣，但不管哪種真空運用機器設備都是有一套清理被抽容器內空氣的抽真空系統軟件，便于在真空容器內得到 所須要的真空標準。舉例來說：一個真空解決用的容器，用管線和閘閥將它與真空泵相互連接，當真空泵對容器開展抽時間時，容器上應有真空準確測量設備，這就造成了一個非常簡單的真空抽真空系統軟件。那麼真空系統相較為于發電機組而言有多少泵構成呢?這個是不知道的，大家先來認識一下很有可能出現的泵的基本概念。

主閥：在真空系統中，用以得到 所需要真空度來達到特殊加工工藝標準的真空泵，如真空鍍膜設備中的油擴散泵便是主閥。

前面泵：用以保持某一真空泵前面氣體壓強小于其臨界值前面氣體壓強的真空泵。如羅茨真空泵前配備的旋片泵或旋片泵泵便是前面泵。

粗抽泵：從大氣壓力下逐漸抽真空，并將體系工作壓力抽中另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜設備中的旋片泵泵，便是粗汽油泵。

保持泵：在真空系統中，供氣量很鐘頭，不可以合理地運用前面泵。因此配備一種容積較小的輔助泵來保持主閥工作中，此泵叫保持泵。如擴散泵出入口配一臺中小型旋片泵，便是保持泵。

實際上簡易的真空系統僅僅能得到 一個粗真空，而要想獲取高真空時，一般在真空系統中串連一個高真空泵，當串連一個高真空泵以后，一般 要在高真空泵的入口和出入口各自再加上閘閥，便于高真空泵能獨立維持真空。假如所串連的高真空泵是一個油擴散泵，為了較好地避免很多的油蒸汽反流進到被抽容器，一般在油擴散泵的入口加一個捕集器——水冷散熱障板。依據規定，還能夠在管道中再加上除塵設備，真空汽車繼電器規頭，真空導電軟連接管路，真空泵入口排氣閥，熱管散熱器這些，那樣就組成了一個較健全的高真空系統。

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